使用事例

半導体生産現場(クリーンルーム)の避難経路の確保

      
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クリーンルーム内の地震発生時の安全な避難経路の確保

強震計測機器のSM-28や制御用地震計RSM-300などを用いて、クリーンルームの地震発生時に安全な避難経路する用途で使用します。クリーンルームという清浄度が高い空間を保つ必要のある特性から、情報伝達が遅れる可能性があります。そこで設定閾値以上の揺れが発生した際に安全な避難経路を確保するために、地震計の信号をトリガーを使用します。瞬時に制御が必要であるため、Gal値で管理をします。感震器はグレーチングの下などに設置します。感震器と地震計本体は、常に正常監視できる状態であるか、信号のやりとりをしています。万が一の際に不具合で制御しないことが起こってはいけない計測器であるがために、このような機能が標準搭載しております。また、地震動特有の振動を確実にとらえるために、低い周波もとらえるような高感度設計の感震器を取り揃えております。

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用途に応じて、PCや外部表示機、パトライトなどさまざまな物と組み合わせができます

強震計測装置SM-28システムのシステム構成図案になります。SM-28は、地震計1台に対して感震器を2台まで接続できるため、ANDまたはOR制御の設定ができます。また、オプションの接点出力ユニットを接続すれば、最大〇接点まで拡張できます。ネットワークで離れた場所のPCへも地震観測データや波形収録も可能です。同様に離れた場所にRS422を用いて外部表示器も接続してご使用頂けます。

      
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取付が簡単、小型、低価格の制御に特化した制御用地震計もあります

制御用地震計RSM-300システム構成図案になります。RSM-300は、地震計1台に対して感震器を1台接続できます。接点出力を4接点標準のため、各種の接点と接続でき小型で設置も簡単です。感震器PV-24とセットになっています。

製品リスト

型式
製品名
備考

SM-29

多チャンネル強震計測装置
SM-28の後継機種の予定があるため。上位機種への紹介となります。

RSM-300

制御用地震計
制御に特化した小型で設置が簡単だが、高感度の地震計

LS-14DX

デジタル出力サーボ型感震器
サーボ式感震器「LS-14DX」は、高感度・低雑音を実現。地震波形を高精度に検出します。

PV-24

デジタル出力静電容量型感震器
新開発の静電容量式感震器「PV-24」は、小型・軽量で低価格。 1軸あたり3つのセンサによる2 out of 3を採用し高信頼性を実現しました。

LS-13DX

デジタル出力サーボ型感震器
半導体レーザと分割型シリコンダイオードによる新しい光学方式を採用し、重力加速度(直流)からの超低周波数領域からの振動を検出します。
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